MOCVD设备国产化国内企业需先炼内功区域

从科技部《产业 十二五 规划》的发布，再到2015年大型MOCVD设备、关键原材料实现国产化奋斗目标的提出，国内很多研究院校、企业加码研发MOCVD设备，试图打破欧美巨头垄断局面。近日， 采用国产MOCVD设备开发/产业化超高亮度 项目已接到国家工信部项目立项通知，获批补贴款600万元。MOCVD设备国产化再次成为业内讨论热点。

有不少设备制造商和厂家认为，MOCVD设备成本较高，又被国外巨头垄断，因此政府补贴是实现设备国产化的关键因素。

OFweek LED行业分析师认为，MOCVD设备国产化的前提是国产MOCVD企业自身要练好内功，切实满足产业的发展需求。国产MOCVD设备发展还有很长的路要走，不管是设备制造商还是LED芯片厂家都不能急于一时，更加不能有投机的心理。

在实现MOCVD设备国产化战略目标的征途上，国内企业还将面临各种挑战。

首先，我国MOCVD产能利用率低，MOCVD设备需求有限。整个LED行业还处于调整期，对MOCVD设备需求过剩。目前，MOCVD机台已经几乎趋于饱和，已呈现供过于求的情况，因此现阶段对MOCVD的设备需求不会很大。OFweek 研究中心发布的数据显示，2012年中国LED行业MOCVD保有量为917台，数量接近2010年的 倍，总产能超过2010年10倍。与外延产能大幅度增加的同时，2012年中国MOCVD产能利用率仅 0%左右，开机率仅50%左右。

其次，国内产、学、研并没有真正的结合在一起，国内企业MOCVD的硬件与工艺相脱节。MOCVD的硬件与工艺的 珠联璧合 才能达到生产的要求，就像计算机必须借助软件系统才能运做一样。正所谓： 没有设备的工艺一定是 纸上谈兵 ，没有工艺的设备则是 无源之水 。 设备与工艺的不可分割，决定了设备厂家要跟芯片厂家的密切配合。

国外的设备大厂的工艺都是采用全外包的模式，调试都是有第三方独立机构协助。比如，爱思强依托了亚深工业大学（德国著名的工业院校）做设备的配套工艺。英国托马仕雯（公司后来被被爱思强收购）设备在剑桥大学里是无偿的研究教学，他的工艺就是剑桥帮他们去调试。而Veeco的系统制造业务则是外包给一家新泽西公司。

相对于国外企业硬件与工艺的 珠联璧合 ，国内企业显得孤军奋战。国内高精尖产业技术研发领域，产、学、研并没有真正的结合在一起，合作更多是政府的 拉郎配 ，而并非企业为主体的市场行为。这也直接导致了企业与研究院所之间各自打自己的小算盘，没有真正意义上的合力攻关。

最后，政策支持没有起得应用的作用。从 九五 到 十二五 ，国家对于MOCVD研发的补贴力度真可用 一掷千金 来形容。这也从某种程度上滋生了不少以拿补贴为目的的 三无 （无技术、无市场、无规划）企业。随后， 天女散花 式的地方补贴也使得很多真正具备研发能力的企业没有得到最大化的支援。

国际MOCVD设备大厂的发展经历了几代技术更新，我们不可能一代产品就超过别人。我们可以缩短差距，但并非一朝一夕就能逾越别人。把工艺要求转化成设备的刚性指标，能够熬到在产品的质量、可靠性、成本及量产等综合性能方面得到市场认可的那一天是漫长的。因为MOCVD设备也是一个生态链，有供应商系统、制造系统，更大的是客服系统，还必须具备供应商的信任、合作关系的长期磨合才能最终产生效益。

OFweek LED行业分析师认为，国产MOCVD设备的前景很美好，但市场化的路可能还很漫长。目前竞争又非常激烈，产品质量是企业的生命，如果短期内大面积使用国产MOCVD设备，可能给产品质量带来较大的不确定性，且MOCVD设备需要不断地维护更新，对设备提供方的实力要求也较高。未来MOCVD要注重工艺与设备的结合，两者相结合才是真正的发展方向。国家不但要资助MOCVD设备的研发，还要在研发阶段充分考虑工艺与设备的结合，资助外延生产企业去试用MOCVD，根据设备特性探索出成功的外延生产工艺。